半導体用語集
DOP粒子 DOP
英語表記：DOP particledioctyl phthalate particle
HEPAフィルタの試験に用いる標準粒子。ディオクチルフタレートを材料にし、粒子径がきわめて均一な単分散粒子と、各種の粒子径を含む多分散粒子とがある。
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