半導体用語集
DOS粒子 DOS
英語表記：DOS particle dioctyl sebacate particle
HEPAフィルタの試験などに用いる標準粒子の一種で、ディオクチルセバケートによって生成した液滴粒子。DOP粒子に比べて人体に対する影響が少ない。
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