半導体用語集
アンテナ比
英語表記：antenna retio
MOSデバイス構造において、エッチング中にプラズマに露出する配線の荷電粒子が流入する部分の総面積Sとこの配線につながるゲート電極の面積SGの比S/SGで表される無次元量。チャージアップに起因するゲート酸化膜信頼性劣化を評価する際の指標になる。
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