半導体用語集
電子ビームテストシステム 電子ビームプローバ
英語表記：final-wafer test post test
半導体デバイスの内部診断のため真空中で被測定デバイスの配線に電子ビームを照射し、その部分から発生する二次電子のエネルギー変化から回路の電圧を測定する非接触型の試験装置。
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