半導体用語集
SEMIスタンダード
英語表記：semi standards
Semiconductor Equipment and Materials International(SEMI)が組織するスタンダード委員会が制定する業界自主規格のこと。半導体製造装置の安全ガイドラインも含まれ、これにはSEMI S2、 SEMI S8等がある。
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