半導体用語集
SEMI S2
英語表記：SEMI S2
SEMIスタンダードの半導体製造装置に対する安全ガイドラインのこと。1991年に成立し、1993年
、2000年に改定がされている。2000年版の正式名称は、SEMI S2ｰ0200 Environmental、Safety and Health Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment。装置に最低限度要求される安全性能を記載する。
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