半導体用語集

SEMI S8

英語表記:SEMI S8

SEMIスタンダードの半導体製造装置に対する人間工学的性能の安全ガイドライン。1995年に成立し、1999年に改定されている。1999年版の正式名称は、SEMI S8-0999 Safety Guidelines for Ergonomics Engineering of Semiconductor Manufacturing Equipment.


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