半導体用語集
バイパス漏洩
英語表記：bypass leakage
HEPAフィルタまたはULPAフィルタとフィルタ取付フレームとの接合部などエアタイトであるべき場所を通り、上流側圧力チャンバよりフィルタをバイパスし、フィルタ下流側に粒子汚染物が漏れる現象。
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