半導体用語集
ホットチャック ヒートアップステージ
英語表記：hot chuck heat up stage
プローバなどで各ダイの高温環境での電気特性を測定可能とするためにウェーハを加熱し且つ保持する部品。低温環境にするものをクールチャック、一定の温度環境にするものを恒温チャックという。
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