半導体用語集
検出器
英語表記： height detector
ビーム照射位置でのウェハ表面の高さを測定する装置をｚ検出器 (高さ検出器)という。 高さ検出は、電子光学系の調整を行うために、ステージに固定された標準マークと電子ビーム照射位置でのウェハ面が相対的にどれだけすれているかを調べるために行う。測定法としては、 光てこの原理を用いた光斜入射高さ検出法や、静電容量型のギャップセンサを用いた高さ検出法などがある。電子ビームの偏向走査範囲は、標準マークと呼ばれる校正用マークを使って、レーザ干渉計を基準とした直交座標系と電子ビームの偏向座標系を精密に校正されている。この校正用マークと電子ビーム照射位置でのウェハ高さが異なると偏向領域の大きさが変わることになり、描画位置精度が劣化することになる。そこで、校正マークの他に、圧電素子などで高さを可変できるぇ校正用マークを設置し、z検出器により標準マークとの差が既知の複数のｚ位置に対して、偏向歪補正係数を求めておく。ウェハ面内の高さを描画前あるいは描画中に求め、高さに応じて偏向領域の補正を行うことにより、ウェハ高さのばらつきがあっても高精度な描画ができるようにしている。
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