半導体用語集
検出器
英語表記： height detector
ビーム照射位置でのウェハ表面の高さを測定する装置をｚ検出器 (高さ検出器)という。 高さ検出は、電子光学系の調整を行うために、ステージに固定された標準マークと電子ビーム照射位置でのウェハ面が相対的にどれだけすれているかを調べるために行う。測定法としては、 光てこの原理を用いた光斜入射高さ検出法や、静電容量型のギャップセンサを用いた高さ検出法などがある。電子ビームの偏向走査範囲は、標準マークと呼ばれる校正用マークを使って、レーザ干渉計を基準とした直交座標系と電子ビームの偏向座標系を精密に校正されている。この校正用マークと電子ビーム照射位置でのウェハ高さが異なると偏向領域の大きさが変わることになり、描画位置精度が劣化することになる。そこで、校正マークの他に、圧電素子などで高さを可変できるぇ校正用マークを設置し、z検出器により標準マークとの差が既知の複数のｚ位置に対して、偏向歪補正係数を求めておく。ウェハ面内の高さを描画前あるいは描画中に求め、高さに応じて偏向領域の補正を行うことにより、ウェハ高さのばらつきがあっても高精度な描画ができるようにしている。
関連製品
シンチレータ検出器の市場規模、シェア、成長、2035年展望
KD Market Insights Private Limited
KD Market Insightsは、市場調査レポート「シンチレータ検出器市場の将来動向と機会分析 - 2025年から2035年」を発刊しました。当レポートの市場スコープでは、現在の市場動向と今後の成長機会に関する情報を網羅しており、読者の皆様はこれを通じて、十分な情報に基づいたビジネス上の意思決定を行うことができます。
技術／特許／M&A › 技術 › 半導体（素子・構造・回路など）
［LC/MS］液体クロマトグラフィー質量分析法
財団法人材料科学技術振興財団
液体中の成分を固定相と移動相の相互作用の差を用いて分離し、質量検出器で検出する手法です。
技術／特許／M&A › 技術 › ディスプレイ製造(プロセス、装置、材料など）
光電検出器の市場規模、シェア、成長、メーカー 2033年
KD Market Insights Private Limited
世界の光電検出器市場は、2033年までに34億米ドルに達する見込みです。
技術／特許／M&A › 技術 › 半導体（素子・構造・回路など）
超音波気泡検出器の市場規模、シェア、成長、メーカー 2033年
KD Market Insights Private Limited
超音波気泡検出器の世界市場は、2033年までに2億8,050万米ドルに達する見込みで、予測期間中の年平均成長率は10.3%です。
技術／特許／M&A › 技術 › 半導体（素子・構造・回路など）
キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
