半導体用語集
光集積回路
英語表記：integrated optics, photonic integrated circuit
半導体あるいはガラスなどを基板とし、この上に光導波路を形成し、その光導波路内に変調器、レーザ、検出器などの光部品を集積化して、素子内部で光を処理することを可能とした回路をいう。ガラスあるいは半導体基板上に半導体プロセス技術を用いすべての光導波路、能動光部品、受動光部品を一括して製作するモノリシック集積光回路と、個別に製作された光導波路、光部品の一部を基板上に後づけするハイブリッド集積光回路に区分される。このうち、モノリシック集積光回路は、将来の高信頼で高性能な素子の大量生産に適していると考えられ期待されている。しかし、光源などを集積化したモノリシック集積光回路は、InPあるいはGaAsのような半導体基板を用いる必要があり、高性能な要素素子を安価に大量に作製し、これらを大規模に集積することは困難であるのが現状である。また、ガラスなどの基板を用いたモノリシック集積回路では、機能が限定されやすい。そこで、現時点で実際に商品化が行われているものは、集積化による高性能化を図ったものが多く、DFBレーザと光変調器を集積化した超高速発光デバイス、アレー導波路と分岐、合岐デバイスを集積化した波長多重光通信用波長フィルタ、半導体レーザにアンプを集積化した大出力レーザ、半導体レーザにサンプルグレーティング、位相調整器とを集積したSSG波長可変レーザ、半導体アンプとマッハツェンダ型変調器を集積化した波長変換器などがあげられる。今後、光回路のマーケットの拡大に伴い、積極的な研究開発が行われ集積度の向上が進むものと考えられる。
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