半導体用語集
格子間酸素
英語表記： oxygen
シリコン結晶の格子間に存在する酸素。CＺ法で作成したシリコン単結晶中には、原料を溶かするつぼより溶融した1018固/㎤程度の酸素が含まれている。これらは格子間に存在している。これに対してシリコン単結晶中に混入する酸素はシリコン原子と置き換って存在している。（置換型酸素）
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