半導体用語集
固体蒸発源
英語表記：solid vaporizer
イオンを発生する際に、イオン源に組み込んで用いられる固体試料用蒸発源。試料はヒータによって真空中で数百℃に加熱され、蒸気となってプラズマ生成室に導入される。主として安全性の観点から毒性ガスに替って、用いられることが多い。
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