半導体用語集
キャリヤガス
英語表記：carrier gas
固体蒸発源でアークを安定に発生させるために用いられるガス。多くの場合キャリヤガスでアークを発生させた後、固体蒸発源の温度を上げることにより目的とするイオン種をアークチャンバに導入する。一旦目的とするイオンビームが得られると、アークチャンバへのキャリアガス導入を断つことが多い。
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