半導体用語集
ガス供給センタ
英語表記：total gas supply system
半導体製造工場に隣接して設置され、半導体製造工程で使用されるパルクガス、キャリヤガス、特殊材料ガスおよびクリーンドライエア等を一括して供給するための施設。オンサイトの窒素ガス発生装置を中心に構成される。
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