半導体用語集
ガスクロマトグラフ
英語表記：gas chromatograph
気化しうる無機または有機化合物を含む試料をキャリヤガス中に注入し、分離カラムを通過させ各成分毎に分離・検出を行う定性および定量用分析機器。検出器にはヘリウムイオン化検出器（HID）、重水素イオン化検出器（DID）、熱伝導度検出器（FID）、炎光光度検出器（FPD）、超音波検出器（USD）などがある。
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