半導体用語集
ガス濃度検出器
英語表記：gas concentration sensor
雰囲気中のH2、SiH4、AsH3（アルシン）などの危険ガスやプロセスガスの濃度を検出するセンサ。可燃ガスは微量を燃焼させて温度変化を測定し、極微量検出にはガスクロマトグラフィなどを使用する。
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