半導体用語集

  • Z
  • 0
  • 1
  • 2
  • 3
  • 4
  • 5
  • 6
  • 7
  • 8
  • 9

半導体用語集

固体ソースMBE

英語表記:solid source MBE

金属材料を用いて結晶成長を行う時、PBNで構成された固体蒸発源(ソース)が用いられる。図1に固体蒸発源の模式図を示す。蒸発源の材料には放出ガスの少ない PBNやTaなどが用いられる。固体蒸発源にはクヌッセンセル型とラングミュアセル県がある。また、V族元素のように大きな分子として蒸発する物質を小さな分子に熱分解するクラッキングセルを蒸発セルの上に備えた蒸発源も考案されている。