半導体用語集
架橋反応
英語表記：cross¯linking
熱あるいは光により結合反応を生しポリマー鎖か繋がるため、架橋反応と呼はれている。レジストにおいては、架橋反応による分子量変化を利用してパターンを形成することが行われている。特に架橋により分子量を増大させて露光部を不溶化することにより、ネガレジストとして機能させることは多くのレジストに適用されている。その他、架橋反応を利用したものとして、主鎖切断型ポジ型レジストにおける増感現像、フェノールレジストにおける耐熱性改善などをあげることができる。架橋反応の分類の一例を示す。(1)感光性を持たない樹脂と光架橋剤とからなり、架橋剤が光を吸収して励起し、樹脂を架橋するもの、(2)樹脂自体に架橋基を持っており、他の官能基と結合して架橋するもの、(3)樹脂または添加剤に含まれる官能基に増感剤が作用して架橋するものに大別される。(1)の例として樹脂に環化ゴム、架橋剤にビスアジドを用いたネガレジスト、(2)の例としてクロロメチル化スチレンなどがあげられる。(3)の機構の代表としては化学増幅レジストがあげられ、ノボラック樹脂またはフェノール樹脂に架橋剤としてメチロールメラミン、酸発生剤としてハロゲン化合物が用いるものがよく知られている。
関連製品
「架橋反応」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「架橋反応」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
