半導体用語集
電子ビーム
英語表記：Electron Beam
電子銃（Gun）から放出された電子は、電場や磁場の影響で曲げられ、あたかも光が光学レンズの中を通るように集光して基板表面のフォトレジスト上に焦点を結ぶ。この電子のエネルギーを吸収して、フォトレジスト高分子の架橋が壊れるか、或いは架橋反応が進んで現像液に一部は溶解し、他の部分は溶解しなくなり、パターンが形成される。ステッパ用のマスク製作に用いられるが、ウエハに直接露光することも可能で実用化されている。ただし、スループットが極めて低いので、多品種少量生産などの用途に用いられている。最近、多数（例えば1万本）の電子ビームを照射してスループットを上げるマルチビームの検討が行われており完成すれば、マスクが不要でリードタイムが短く、多品種少量生産に極めて有効な技術となる。
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