半導体用語集
プラズマ振動法
英語表記：plasma oscillation method
電子ビームをプラズマに入射して電子プラズマ振動を励起させ、その周波数:ωp/2π（Hz)を計測し、電子密度 (ne)= 1.24×10-2(ωp/2π(m-3)から電子密度を高精度で決定する方法である。ここで、ωpはプラズマ周波数である。具体的には、赤熱したフィラメントをプラズマの電位より負にバイアスする。フィラメントから熱電子がシース電圧のエネルギーをもってプラズマに入射されると、二流体不安定性理論より、この電子ビームによってプラズマ中に周波数ωの静電波が励起される。実験的に観測される静電波は、ほとんどプラズマ周波数ωpと一致する。そこで、この振動周波数を同軸ケーブルの芯線を曲げたアンテナで受け、ブロッキングコンデンサを介してスペクトルアナライザで測定することにより、高精度で電子密度が求められる。電子ビーム入射による分子の電離などの影響はそのビームの密度や検出感度にも依存するが、1016mー3以上の電子密度では影響がない。
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