半導体用語集
酸化物ゾル
英語表記：oxide sol
金属酸化物またはそれらの水和物のコロイド粒子が、1次粒子又は2次粒子で液体（水または有機溶媒）中に安定に分散している液のこと。市販されている例として、シリカゾル、アルミナゾル、ジルコニアゾルなどがある。コロイド状酸化物という意味で、例えばシリカゾルの場合には、コロイダルシリカ（colloidal silica）とも呼ばれる。一般には、例えばアルミナ水和物（Al2O3・H2O）のゾルなども、単にアルミナゾルということが多い。通常、コロイド粒子の大きさは1～500mmの範囲で、表面電荷を付与された粒子同士が互いに反発し、分散状態を保っている。各種材料の精密研磨用途への応用が検討されている。
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