半導体用語集
スピンカップ
英語表記：spin cup
スピンコータにおいて、レジスト塗布中のウェーハを囲い込むように据え付けられた円筒状の容器。塗布中の排気やレジストの跳ね返りを考慮した設計になっている。スピンディベロッパにも同様のカップが設けられている。
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