半導体用語集
スピンカップ
英語表記：Spin cup
スピンチャック上に載置され、ウェハを囲い込むように設置された円筒上の覆い。スピン塗布時、ウェハ外に吹き飛ばされたレジストを効率よく排出し、かつスピンカップ内壁に衝突したレジストが跳ね返って再度ウェハに付着しないような構造が考慮されている。
スピンカップ内壁に堆積したレジストを自動的に洗浄する機能が付加されているものもある。
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