半導体用語集
ピボットディスペンスノズル
英語表記：pivot dispense nozzle
スピンチャックと載置されたウェーハの旋回軸直上に位置を固定して、レジストを滴下するために用いられるレジストノズル。レジスト滴下時のみレジストノズルがウェーハ上に移動し、通常はスピンカップの外側に待機させる方式が一般的である。
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