半導体用語集
キネマチックカップリング
英語表記：kinematic coupling
3角形の3頂点に位置するように配置された3つの凸状3次元局面をもつピンのそれぞれに、被載置体に設けられた3つの逆V字型の溝を嵌合させて位置決めを行う機構。300mmウェーハキャリアに用いられている。大きな呼び込み範囲と自動求心による高い位置決め精度が特徴。
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