半導体用語集

研磨精度

英語表記:polishing accuracy

研磨精度と研磨加工において達成される精度を指し、その目的、形状に応じて寸法精度、形状精度等がある。とくに、形状精度は加工物により異なり、例えば、真円度、傾斜角、円弧の半径値等多数の測定を要する値があり、各々について適当な測定法を使用しなければならない。また、これらの値は研磨の定義(研磨量の項参照)により異なり、一般に微細な砥粒を使用すれば、加工精度はそれだけ良好にすることができる。また工作物のサイズによって精度も違ってきており、一般にサイズの大きい工作物は精度の公差範囲が広い。研磨の目的は切削、表面処理、熱処理等の前加工面を目前に応じた形状に仕上げるのであるから、当然これらの加工精度より良くなければならない。


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