半導体用語集

保温筒

英語表記:pedestal

熱処理時の熱を外部に漏らさない様にする治具。通常、縦型熱処理炉のポートの下部に設置する台座として兼用される。材質は主に石英やシリコンカーバイト(SiC)を用いる。フィンを入れたものをフィンペデスタルと呼ぶ。


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