半導体用語集
保温筒
英語表記：pedestal
熱処理時の熱を外部に漏らさない様にする治具。通常、縦型熱処理炉のポートの下部に設置する台座として兼用される。材質は主に石英やシリコンカーバイト（SiC）を用いる。フィンを入れたものをフィンペデスタルと呼ぶ。
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