半導体用語集
渦電流法
英語表記：eddy current
無接触で抵抗率を測定する方法。励振コイルで検出する方法において、空心コイルを用いる場合の板状試料のシート導電率σωと、渦電流検出電圧Vσの関係は次式で与えられる。
Vσ=σωf2n1n2I0aKσ
ここでｆは励起周波数、ｎ1、ｎ2 はコイル巻数、I0 は励起コイルに流れる電流、Kσは係数、αはコイル半径である。
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