半導体用語集
孔明きパネル
英語表記：perforated panel
フリーアクセスフロアを構成するアルミダイキャスト、鋼板などで作られている孔明き床パネル。還気の吸込口になる開口を大きくとることは難しいが、寸法精度が高く、かつ作業者の居住性に優れる。
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