半導体用語集
逆止弁
英語表記：check valve
ガス配管系に設置して、背圧によって弁体が流体ガスの逆流を防止するように作動するバルブ。2種類以上の半導体製造用ガスを混合して用いる場合、混合爆発や毒ガス、あるいは腐食性ガスなどの逆流による事故を未然に防止する目的で用いる。
関連製品
「逆止弁」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「逆止弁」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
