半導体用語集
逆流防止バルブ
英語表記：back flow free check valve system
逆流センサと空気圧弁、または逆流・過流量によって構成され、ガス流路に逆流や過流量の異常が生じたときにそれらを検出・防止できるバルブ。従来のバネを用いた逆止弁の抱えていた微粒子の発生がなく、かつ流量の監視機能も有している。
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