半導体用語集
デバイ遮蔽
英語表記：debye shield
金属導体に電荷を近づけると静電誘導と呼ばれる現象が起こり、金属内部の電場を0にする (遮蔽する) ように自由電子が動いて金属表面に電荷が分布する。プラズマにもこのような性質があり、外部電場を遮蔽するように電子が動く。たとえばプラズマ中の電極に外から負電圧を印加すると、 その電極の周りに電子が近づけなくなり、正イオンが電極の周りを取り巻いて電気力線を終端してしまう。すなわち、電極が作る電界はシールドされてしまい、デバイ長の数倍程度の距離までしかプラズマ中に侵入できない。これをデバイ遮蔽という。
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