半導体用語集
フォトリソグラフィの原理
英語表記：
ウエハに感光性樹脂（フォトレジストと呼ばれる）を回転塗布する。光を遮るマスクをウエハ上に置いて露光すると、光が当たったところが現像液に溶けるポジ型フォトレジストと、逆に光の当たったところが溶けないネガ型がある。初期には、コンタクト式の露光機が用いられたが、現在は解像度の良いステッパーと呼ばれる装置が多用されている。現像後にウエハ上に残ったフォトレジストは、エッチングやイオン注入のマスクとして用いられる。フォトレジストでマスクされた部分はエッチングされない。
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