半導体用語集
ロードロック室 真空予備室
英語表記：load-lock chamber
処理室を大気中に開放しないでウエーハの取入れ、取出しを行うことを目的とした真空室。処理室の前後、又はどちらか一方にバルブを介して配置され、バルブと真空排気系動作の組合せで処理室を常に真空に保持することができる。
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