半導体用語集
2床3塔型純水装置 2B3T型純水装置
英語表記：two bed three tower deionizing equipment two bed three tower demineralizing equipment
カチオン交換樹脂塔、脱炭酸塔または真空脱気塔およびアニオン交換樹脂より成る複床式純水装置。
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