半導体用語集
インラインガスフィルタ
英語表記：in-line gas filter
半導体製造装置の入口やガス供給装置の出口などに設置して、半導体製造用ガス中の微粒子を捕捉除去するための精密フィルタ。従来問題となっていた、メンブレンフィルタからの水分及びハイドロカーボンを中心とするアウトガスによる汚染をなくした、オールステンレスフィルタもある。
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