半導体用語集
パージモード付シリンダバルブ
英語表記：cylinder valve with purge mode
パージバルブを同一バルブ内に集積化したシリンダネックバルブ。滞留部がないためにガスの置換特性に優れる。シリンダ交換時に残留する特殊材料ガスを完全に除去できるため、安全性にも優れている。インラインガスフィルタもある。
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