半導体用語集
前洗浄
英語表記：pre-cleaning process
拡散やCVDなどの成膜工程の前に、微粒子、有機物、金属不純物、不要な膜などの除去を行う洗浄。RCA洗浄が従来より一般的に使用されている。また、この洗浄では、洗浄後の乾燥が特に重要である。
関連製品
シリコンウェーハ バッチ式自動洗浄装置
PHT株式会社
ワイヤーソー後洗浄・ラップ後洗浄・アルカリエッチング洗浄・熱処理前洗浄・熱処理後洗浄・研磨後洗浄・FINAL洗浄に対応します。
半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品 › 洗浄装置・ウェット処理装置 › バッチ式洗浄装置
キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「前洗浄」に関連する用語が存在しません。
「前洗浄」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
