半導体用語集
酸素濃度モニタ
英語表記：oxygen concentration monitor
プロセスパラメータの一つである、チャンバ内の酸素濃度を測定する機能。加熱雰囲気に残留する酸素濃度を測定する機能。加熱雰囲気に残留する酸素濃度を調べたり、所望の酸素濃度に於いて熱処理を行う場合に用いる。
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