半導体用語集
高周波誘導加熱真空蒸着装置
英語表記：induction heating evaporation system
加熱源として蒸発材料自身に誘起される高周波誘導電流を利用する真空蒸着装置。この方法は電気的誘導材料にのみ有効であり絶縁体には適用できない。荷電粒子による損傷の入らない蒸着装置として利用される。
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