半導体用語集
IPA回収・再生装置
英語表記:isopropyl alcohol reprocessor
洗浄・乾燥等の工程で使用されたIPA(イソプロピルアルコール)を回収し、脱水、蒸留、ろ過を行い再使用可能な純度まで精製する装置。
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