半導体用語集
COP
英語表記：crystal originated particle
結晶の微小空洞が、SC1洗浄を繰り返すことにより顕在化するピットでありGrown-in欠陥の一種と考えられている。基本構造として｛111｝面に囲まれた正8面体であり、内面にSi酸化膜を有すると考えられている。パーティクルとして当初検出されたため、名称にその名残がある。
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