半導体用語集
光気相エピタキシャル成長装置
英語表記：photo assisted vapor phase epitaxial growth system
熱エネルギーに光エネルギーを付加することにより気体分子やウエーハ表面の活性化を行い、エピタキシャル成長を行う装置。低温でのエピタキシャル成長が可能となる特徴を持つ。
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