半導体用語集
搬送量 FROM／TO量
英語表記：transportation amount
搬送設備の搬送能力をとらえる数値。搬送設備を計画、設計、評価する上でも重要な数値となる。単位時間当たりで表現される。（例：50カセット/H）。最大値と平均値、通常値と緊急値、現在値と将来値など生産計画に応じ様々な角度でとらえる必要がある。
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