半導体用語集
毒性ガス
英語表記：toxic gas
高圧ガス保安法で、じょ限量が200ppm以下の毒性を有するガス。アルシン、塩素、三フッ化ホウ素、ジボラン、モノシラン、フッ素など33種類以上のガスが指定されている。
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