半導体用語集
気流平行性
英語表記：airflow parallelism
一方向流形クリーンルームにおける一方向流を形成する空気流の直線性および平行性。垂直一方向流形クリーンルームでサプライまたはリターンチャンバ内での圧力損失が大きい場合、気流が偏流し、垂直一方向流が得られないことがある。一般的に、気流編流角は14°以内に調整される。
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