半導体用語集
製造・加工装置
英語表記:packaging equipment
パッケージの組み立ては,多数のエ程から構成されており,各工程において種々の装置を用いる。装置などのハードウェアに対して,CIMなどのソフトウェアも重要であり,ソフトウェアによってハードウェアの性能,効率を上げている。
組立装置は,ダイシング,ワイヤボンディング,ワイヤレスボンディング(インナリードボンダ,アウタリードボンダ,フリップチップボンダ),モールド装置,モールド金型,T/F(トリムアンドフォーム)装置,T/F金型,マーキング装置(インクマーキング装置,レーザマーキング装置)などがある。さらに,ウェハマッピングに代表される自動化,通信プロトコル(SECS,HSMS,GEM, TCP/IP)も欠かせない。
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