半導体用語集
非定在波型超音波発生装置
英語表記：non-standing wave type ultrasonic generator
超音波洗浄における洗浄むらの原因となる定在波（洗浄槽液中に超音波周波数の1/2波長ごとに強弱ができる）の発生を抑制するために、相異なる周波数又は位相差を有する複数の超音波を洗浄液に照射する超音波発生装置。
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