半導体用語集
露光
英語表記：exposure
ウェーハ上に塗布されたレジストに回路パターンを形成すること。通常前工程で形成された回路パターンに対して配置合わせを行って次工程の回路パターンを形成する。
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技術／特許／M&A › 技術 › 半導体製造(プロセス、装置、材料など）
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