半導体用語集
露光
英語表記：exposure
ウェーハ上に塗布されたレジストに回路パターンを形成すること。通常前工程で形成された回路パターンに対して配置合わせを行って次工程の回路パターンを形成する。
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プロキシミティ露光機の世界市場規模は、2024年に約17億米ドルと評価され、2033年には約29億米ドルに達すると予測されています。
技術／特許／M&A › 技術 › 半導体製造(プロセス、装置、材料など）
FDi-MP
株式会社オーク製作所
高性能ICパッケージ基板等の回路形成向け高性能ダイレクト露光装置
半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品 › リソグラフィ装置 › 後工程用露光装置（FOパッケージ用含む）
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