半導体用語集
サセプタ
英語表記：susceptor
SiやGaAsなどの半導体ウェーハを搭載し加熱するために高周波誘導、ヒータ等によって加熱されるウェーハ保持体の総称。実用的に用いられている材質は、シリコンカーバイド（SiC）をコーティングしたカーボン（C）。
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